半导体近期催化不断，消息面上，深圳“十五五”规划纲要提出，到2030年全市实时可用算力规模超150EFlops，国产芯片部分指标和算力集群达到国际先进水平。华为昨日在 IEEE 国际电路与系统研讨会上正式发表 " 韬（τ）定律 "，提出以 " 时间缩微 " 替代 " 几何缩微 " 的半导体演进新范式。同时，国内存储双龙头资本化进程加速。
国泰海通证券认为，存储产业链景气上行叠加国产龙头明确扩产节奏，将持续带动刻蚀、薄膜沉积、检测、CMP、涂胶显影等核心前道设备需求。当前国产设备企业已进入平台化扩品类阶段，从单点突破迈向覆盖先进逻辑与存储高端工艺，国产替代正由成熟制程加速向更高端环节推进。
截至2026年5月26日 14:44，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)成分股方面涨跌互现，中船特气领涨4.76%，拓荆科技上涨4.58%，艾森股份上涨4.47%；芯源微领跌。科创半导体设备ETF鹏华(589020)最新报价2.15元。
流动性方面，科创半导体设备ETF鹏华盘中换手27.9%，成交2.89亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月25日，科创半导体设备ETF鹏华近1周日均成交4.36亿元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。
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